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德菲瑞斯只专注工业烘箱定制
  • 真空烘箱
真空烘箱

快速形成真空环境,防止氧化

用进口德国贝克无油真空泵,真空度:≤133Pa,漏气量:1.33kpa/h;

快速升温,控温精准

采用进口温控系统,PID自动演算,控温精度±0.5℃;

保护装置,安全放心

超温保护器,马达过载保护器,蜂鸣器,故障指示灯,无熔丝开关。 

质量认证

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  • 产品详情
他们都选择德菲瑞斯 Customer case

他们都选择德菲瑞斯

产品特点 product Features
箱体结构箱体结构

箱体材质

箱体内胆采用SUS304#镜面不锈钢材质,氩弧满焊,密闭性好,箱体外壳采用SS41#钢板喷塑,造形美观;

箱体内胆箱体内胆

密封性能

采箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门密封圈,确保箱内高真空度

保温材质保温材质

保温层

采用120K高密度玻璃纤维,保温层厚度100mm,材料防火阻燃,耐温性能良好,机台表面温度不超过RT+45℃

把手铰链把手铰链

维护便捷

电路系统侧采用门式开启,方便维护和检修。

计时功能计时功能

计时功能

采用LED数字型时间计时器,最大计时0~9999H/M/S。设定温度→设定保温时间→时间到结束END提示-自动示切断加热-警报完成指示。

安全保护装置安全保护装置

安全保护装置

超温保护器,马达过载保护器,蜂鸣器,故障指示灯,无熔丝开关。

核心配置 Core configuration
控制系统

真空系统

用进口德国贝克无油真空泵,真空度:≤133Pa,漏气量:1.33kpa/h;

鼓风装置

加热系统

镍铬加热丝,连续使用寿命可达2万-3万小时以上,空载常温升至200℃,不大于120min;

电加热系统

控制系统

采用德国进口的液晶微电脑温度控制仪表,人性化设计操作简单,控温效果良好。液晶显示。微电脑智能控制,设定需要的温度后,仪表自行控制加热功率,并显示加热状态,控温精确稳定。带报警功能,定时功能。

温度传感器

保护系统

整机保护系统由超温保护及报警装置构成,保证了执行元器件及试件的完好。

产品参数 Product parameters
设备型号  DFS6050 DFS6090 DFS6210 DFS6250
温度范围 RT(常温)+10~200℃/250℃/300℃
温度分辨率 0.1℃
温度偏差 ±1.0℃
温度波动度 ±1.0℃
真空度 <133pa
抽气速度 2L/S
2L/S
4L/S
6L/S
容积 52L 90L 210L 250L
内部尺寸
(W×D×H)mm
415×370×345 450×450×450 560×640×600 700×600×600
外部尺寸
(W×D×H)mm
720×525×535 615×590×1470 720×820×1750 1050×760×1750
层板数量 2pcs 2pcs 2pcs 3pcs
电源电压 AC 220V 50HZ AC 380V 50HZ
加热功率 1.4KW 2.4KW 3.6KW 4KW

备注:所有机型外观尺寸仅供参考,实际尺寸以实物为准。

选配组件 Optional component
热风循环烘箱
选配组件:

1.程序控温:可配置程序型温度控制器,最大实现99段*99组程序控温。
2.数字真空表:
可配置数字型真空压力控制仪
3.油液过滤系统:
可搭配冷阱系统、油水过滤器,对高温有害气体及有机液态分子进行过滤。
4.其他:
该机型提供订制(充惰性气体控制)

选择德菲瑞斯4大理由 Reason for choice
方案设计量身定制

方案设计量身定制

德菲瑞斯专注控温烘干,熟悉电子、汽车、化工等数十个行业应用,赢得世界众多大客户认可。

11余位技术工程师上门量身定制解决方案,解决预热、老化等不同工艺阶段烘干控温难题。

生产规模冠领全国

生产规模赢领全国

8000㎡现代化生产车间,20个工作日快速交付。

阿玛达等大品牌激光切割、数控加工设备,温度测试仪等配套检测设备。

10年以上经验焊接操作工人,全面实现高精生产

供应保障

6S标准管理严谨

德菲瑞斯工厂执行6S生产管理标准,科学管理,提高作业效率。

按照ISO9001标准执行生产,每台设备通过温度、硬度、百格、色差等8项测试,符合计量标定

严选品牌供应商,与韩国三元、日本岛电、欧姆龙等长期合作。

售后保障

服务细致贴心

免费送货上门,免费安装调试 ,免费技术培训指导。

7*24h在线,服务网点覆盖深圳、北京、西安等5个城市,及时响应。

质保3年,质保期内质量问题免费维修。

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HMDS真空烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前预处理,增黏剂HMDS涂覆作业。本设备适用于在涂胶前对晶片进行预处理,集真空、烘烤、充氮、洁净、HMDS加液多功能与一体。设备由箱体、真空、加热、充氮、加液及控制等系统组成。
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